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一种稀有金属的蒸发注射装置及蒸发注射方法.pdfVIP

一种稀有金属的蒸发注射装置及蒸发注射方法.pdf

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    本发明涉及物理实验技术领域，具体涉及一种稀有金属的蒸发注射装置及蒸发注射方法，包括依次连接的蒸发炉、注射准备管、阀门、注射输出管和喷头，所述蒸发炉用于对稀有金属进行加热蒸发，所述注射准备管外壁上设置有第一螺纹加热单元，所述第一螺纹加热单元与第一螺纹凹槽相匹配，所述阀门上设置有阀体加热单元，所述注射输出管的外壁上设置有第二螺纹加热单元。本发明通过CF法兰对各部件接口进行连接，保证管路的密封性，同时分别设置第一螺纹加热单元、第二螺纹加热单元和阀体加热单元对管路进行均匀加热，杜绝管路上出现温度冷点，保

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113244641 B (45)授权公告日 2022.05.31 (21)申请号 202110510965.5 (51)Int.Cl.

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