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2023-06-17 发布于四川
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本发明提供了一种压力传感器及其制备方法，包括玻璃底座和位于玻璃底座上的硅应变膜片，玻璃底座的一面设有凹陷空腔，硅应变膜片包括位于正面的绝缘介质层和绝缘介质层覆盖的硅衬底；硅应变膜片的正面朝向空腔处设有十字梁结构的梁膜结构，梁膜结构的各个端部设有一组压敏电阻、一组重掺杂接触区和一对金属引线，压敏电阻和重掺杂接触区串接，两端由金属引线从重掺杂接触区引出，金属引线和重掺杂接触区在硅应变膜片的正面形成欧姆接触，且各压敏电阻之间形成惠斯通电桥；所述梁膜结构包括设于所述十字梁上的多个凹槽结构，以用于调节压力

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113252232 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202110659871.4 (22)申请日 2021.06.11 (71)申请人深圳市美思先端电子有限公司

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