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本发明涉及微透镜面型测量技术领域,具体涉及一种微透镜阵列面形的单点光学测量路径生成方法,包括如下步骤:1)选取具有待测表面全域的弧矢倾斜角不大于单点光学测头的角度特性的θmax的微透镜阵列;2)规划所述待测表面的采样路径,并获取采样路径上多组测量点的坐标;3)将各组所述测量点的坐标转化为测量系统中各轴系的运动坐标。本发明的方法通过提前判断选取具有待测表面全域的弧矢倾斜角不大于单点光学测头的角度特性的θmax的微透镜阵列进行测量,由此可以避免将待测表面的弧矢倾斜角不符合单点光学测头测量要求的微透镜
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113251949 B
(45)授权公告日 2021.11.30
(21)申请号 202110674765.3 CN 108873805 A,2018.11.23
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