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一种歧管式全金刚石微通道散热器的制备方法.pdfVIP

一种歧管式全金刚石微通道散热器的制备方法.pdf

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    一种具备歧管式流体路径的全金刚石微槽道散热器的制备方法，属于高功率器件散热领域。歧管式全金刚石微通道由封装盖板、分流基板、微通道基板和封装底板组成。首先，通过二次形核及动态调节沉积面的CVD制备工艺，制备高品质、无裂纹、金刚石自支撑厚膜；再通过机械研磨抛光平整化表面；然后采用特殊的激光加工工艺实现对金刚石板内矩形微通道尺寸定型；同时对焊接面进行金属化处理，提高其焊接性能：最后，通过真空钎焊技术将金刚石板按顺序焊接到一起，获得尺寸及槽型合格的歧管式全金刚石微槽道换热器，使其满足高热流密度换热器的散

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113267082 B (45)授权公告日 2022.03.04 (21)申请号 202110419168.6 (56)对比文件

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