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薄膜品质检测方法、装置、电子设备及存储介质.pdfVIP

薄膜品质检测方法、装置、电子设备及存储介质.pdf

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    本申请提供涉及一种薄膜品质检测方法、装置、电子设备及存储介质，涉及薄膜品质控制领域。上述薄膜品质检测方法包括：根据薄膜样品的物理数学模型和所述薄膜样品经椭偏检测获得的椭偏检测曲线，以薄膜材料的本征折射率色散表达式为特征参数，反演生成所述薄膜样品的椭偏模拟曲线；计算所述椭偏检测曲线与所述椭偏模拟曲线的拟合度；在所述拟合度接近或大于预设拟合度阈值时，确定所述薄膜样品的品质达到预设标准。能够解决现有技术中对薄膜品质检测精度低，检测工序复杂以及评判标准缺乏量化指标等问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113267454 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110581657.1 (22)申请日 2021.05.26 (71)申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究

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