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本申请提供一种外延片及其掺杂浓度的监控方法,涉及半导体技术领域,根据待测外延片使用X射线衍射(XRD)技术测试,获取待测外延片重掺杂层的峰位值和衬底峰位值;根据E
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113257706 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110798430.2
(22)申请日 2021.07.15
(71)申请人 度亘激光技术(苏州)有限公司
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