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本发明涉及太阳能电池生产领域。种解决碱抛SE‑PERC电池EL不良的方法，扩散过程按如下步骤进行，入舟排空，制绒后的硅片放入石英舟，然后将石英舟放入扩散炉中，通入氮气排除空气；前氧化，前氧化分两步，分别通入不同浓度的氮气和氧气，第一步在硅片表面形成深而疏的氧化层，第二步在第一步的基础上形成密而薄的氧化层；多步扩散和推进；后氧化，后氧化分三步，第一步采用恒温氧化，第二步采用恒温补源氧化，第三步采用低温氧化；出管，测试。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113257954 B
(45)授权公告日 2022.05.10
(21)申请号 202110422738.7 (51)Int.Cl.
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