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本发明提供一种翻板阀、拉晶炉及加料方法和拉晶方法，翻板阀包括翻板、翻转轴和气盘，其中气盘位于翻板靠近拉晶炉坩埚的一面，气盘包括盘体、位于盘体上的气孔、气体管道以及支撑管道，支撑管道连接盘体和气体管道，盘体的面积小于翻板，气盘的盘体与翻板独立设置，用于通过盘体上的气孔从上向下通入气体，从而抑制氧化物上扬污染翻板。本发明通过增加气盘或气孔，产生由上而下的气体，用于保证化料过程中有正上方的气体抑制氧化物上扬，减少拉晶时因为氧化物的原因引起的品质缺陷，提高晶体质量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113249779 B
(45)授权公告日 2022.03.15
(21)申请号 202110433878.4 C30B 29/06 (2006.01)
(22)申请日
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