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本发明公开了一种锥形纳米结构的Ⅲ族氮化物及其制备方法，该制备方法包括：将掺杂的Ⅲ族氮化物作为阳极，进行电化学腐蚀，制备具有纵向纳米孔结构的Ⅲ族氮化物；刻蚀所得纵向纳米孔结构的Ⅲ族氮化物至预设深度，制备具有锥形纳米结构的Ⅲ族氮化物。本发明可成功制备具有锥形纳米结构的Ⅲ族氮化物，通过控制电化学腐蚀过程中工作电压的大小、腐蚀时间的长短以及刻蚀过程中的预设刻蚀深度，可实现锥形结构底面直径和高度的调控，方法简单，容易操作。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113270314 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110522423.X H01L 31/0304 (2006.01)
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