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本发明涉及精密机械装配技术领域,具体公开了一种夹具装置,该夹具装置包括支撑座、丝杠螺母、夹持支架、升降套筒和夹持组件,其中,丝杠螺母固设于支撑座;升降套筒外周设有螺纹,且和丝杠螺母螺纹连接;升降套筒套设于夹持支架且和夹持支架相对转动。旋转升降套筒能驱动夹持支架相对于支撑座做升降运动。夹持组件设于夹持支架,夹持组件用于夹持基准版。该夹具装置通过设置能沿支撑座升降的夹持支架,以及设置于夹持支架的夹持组件,能完成对基准版的夹持、释放和升降操作,且在升降过程能较好的控制基准版和平台接触时的速度,避免基准
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113246052 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110597932.9
(22)申请日 2021.05.31
(71)申请人 上海御微半导体技术有限公司
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