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本发明涉及一种无外部硬力引入去除散热盖方法,包括步骤:提供样品,该样品包括基板、固定于该基板上的晶粒以及通过散热胶盖设于该晶粒上的金属散热盖;对该样品进行透射内部观察,找到该晶粒的位置,并根据该晶粒的位置在该金属散热盖上标记出待蚀刻区域;于该金属散热盖表面粘贴铝箔胶带,并使该铝箔胶带完全覆盖该待蚀刻区域,于该铝箔胶带上对应于该待蚀刻区域的位置处进行切割并形成开口;向该开口内滴入加热的硝酸,直至腐蚀掉该待蚀刻区域内的金属散热盖;将样品放入丙酮内浸泡,当该散热胶软化后,去除剩余金属散热盖和该散热胶。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113252427 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110480200.1
(22)申请日 2021.04.30
(71)申请人 苏试宜特(深圳)检测技术有限公司
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