气浮调节装置.pdfVIP

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本申请涉及一种气浮设备技术领域,公开了一种气浮调节装置,包括用于承载元件移动的移动平台,所述移动平台的下表面设置有气浮支撑部件,所述气浮支撑部件包括气浮垫、球头支承以及气路转接头,所述气浮垫的上表面设置有用于支撑气路转接头的气路芯轴,气路转接头固定设置在气路芯轴上,所述气路转接头上设置有进气孔,气路芯轴上设置有与进气孔连通的出气孔,所述气浮垫的下表面设置有气浮槽,气浮槽与所述出气孔连通,所述球头支承套设在气路芯轴上,球头支承的弧面与气浮垫上表面的弧面接触,所述气浮支撑部件通过球头支撑与移动平台连

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113251074 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202110481635.8 (22)申请日 2021.04.30 (71)申请人 赵智亮 地址 610

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