一种制备大尺寸掺氟石英管的方法及掺氟石英管.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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一种制备大尺寸掺氟石英管的方法及掺氟石英管.pdf

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本发明公开了一种制备大尺寸掺氟石英管的方法及掺氟石英管，该方法包括以下步骤：S10、在靶棒表面沉积二氧化硅粉末，得到疏松体棒；S20、将疏松体棒转移至烧结炉中，对疏松体棒进行脱水处理，得到纯化疏松体棒；S30、向烧结炉中通入含有C2F6和氦气的混合气体一，对纯化疏松体棒进行氟掺杂，得到纯化掺氟疏松粉棒；S40、向烧结炉中通入含有C2F6和氦气的混合气体二，对纯化掺氟疏松粉棒进行烧结，使其完全玻璃化，得到烧结预制棒；S50、重复步骤S10‑S40n次，得到烧结预制棒成品，n为总沉积次数；S60、将

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113264670 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110393643.7 (22)申请日 2021.04.13 (71)申请人江苏永鼎股份有限公司

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