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2023-06-17 发布于四川
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一种具有双重光路隔离的微透镜阵列及其制备方法.pdf

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本发明提供一种具有双重光路隔离的微透镜阵列及其制备方法，包括：第一层负性光刻胶的上表面形成若干呈阵列式排布的微型复眼透镜；设置于第一层负性光刻胶下表面上作为隔离层的Parylene薄膜；设置于Parylene薄膜下表面的黑色光刻胶层，黑色光刻胶层形成隔离阵列，且隔离阵列位于相邻两个微型复眼透镜之间，用以阻挡相邻光路之间串扰；设置于黑色光刻胶层外表面的第二层负性光刻胶第二层负性光刻胶作为基底；且第二层负性光刻胶填充于隔离阵列之间缝隙中，并覆盖于黑色光刻胶层表面上。本发明利用微纳加工制备具有阻挡相邻

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113267837 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 202110399549.2 (22)申请日 2021.04.14 (65)同一申请的已公布的文献号

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