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2023-06-17 发布于四川
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本发明适用于物镜系统相对位置关系的测量领域，公开了一种测量方法，用于测量物镜系统元件的相对位置，物镜系统包括主框架、组件框架和元件，测量方法包括以下步骤：建立组件框架坐标系与主框架坐标系的相对位置关系；建立元件坐标系与组件框架坐标系的相对位置关系；根据组件框架坐标系与主框架坐标系的相对位置关系以及元件坐标系与组件框架坐标系的相对位置关系换算得到元件坐标系与主框架坐标系的相对位置关系；该测量方法可以在不进行物镜整体集成的情况下获取集成后元件坐标系在物镜系统主框架坐标系中的位置，可以大幅缩减装配的任

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113251922 B (45)授权公告日 2022.06.21 (21)申请号 202110533816.0 G01B 21/00 (2006.01) (22)申请日 2021.05

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