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本发明公开了一种提升8寸磨洗FO槽漂洗效果的方法,其方法包括以下步骤:S1、首先保证磨片、酸腐、腐后清洗为正常操作,仅对磨片清洗过程改动进行验证,减少其他因素影响,原磨片清洗机4#槽为抛动、超声溢流槽,研磨片进入4#槽时,超声开启,超声波在纯水中疏密相见地向前辐射,并不停的产生微小气泡,这些气泡是在超声波纵向传播的负压区形成及生长,而在正压区迅速闭合,这种微小气泡的形成、生成迅速闭合称为空化现象,在空化作用下,气泡不停轰炸硅片表面,使硅片表面与损伤层的污垢析出:S2、然后在4#槽内增加压缩空气鼓
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113257661 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110400628.0
(22)申请日 2021.04.14
(71)申请人 中环领先半导体材料有限公司
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