一种出射相干光的VCSEL阵列芯片.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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一种出射相干光的VCSEL阵列芯片.pdf

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本发明公开了一种出射相干光的VCSEL阵列芯片，属于激光器技术领域，包括VCSEL激光芯片，VCSEL激光芯片包括衬底层、第一反射镜以及激光发射单元阵列；与VCSEL激光芯片间隔设置的等离子体辐射层，且在等离子体辐射层一面上刻画有与激光发射单元阵列相对应的等离子体辐射栅，另一面设有反射层；第一激光发射单元垂直向等离子辐射层发射激光，使得等离子体辐射栅的自由电子发生集体振荡，激发出表面等离激元，表面等离激元在等离子体辐射栅和等离子体辐射层之间振荡传播，表面等离激元在反射层的作用下，以倏逝波形式垂直

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113258438 B (45)授权公告日 2022.05.27 (21)申请号 202110546169.7 G02B 5/00 (2006.01) (22)申请日 2021.05.

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