有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共26页，其中可免费阅读25页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种衬底处理系统包含：激光三角传感器，其被配置成通过衬底处理室的外壁的窗来传输和接收光。控制器被配置成：将所述激光三角传感器定位，使得所述激光三角传感器传输光至布置于衬底支撑件的第一表面和气体分配装置的第二表面之间的测量特征上，其中所述第二表面面对所述第一表面；以及当所述激光三角传感器传输光至所述测量特征上时，基于下列两者之间的差异来确定所述第一表面和所述第二表面之间的第一距离：使用所述激光三角传感器所测得的介于所述激光三角传感器与所述第一表面之间的第二距离；以及使用所述激光三角传感器所测得的介
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113272472 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 201980087971.5 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263
文档评论（0）