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本发明一种管理膜层厚度测量程式的方法，包括：撰写代码，以建立免编码智能框架；以及依托所述免编码智能框架建立膜层厚度测量程式的管理系统。本发明还提供了一种使用方法，包括：将待检查的膜层厚度程式的参数、检查规则和配色方法输入系统中；根据膜层厚度程式参数目标值生成膜层厚度程式参数目标值的合集；制作膜层厚度程式参数设置手册；以及检查参数设置是否正确。在本发明提供的管理膜层厚度测量程式的方法中，可以检测到膜层厚度程式错误，并且，在需要增减待检查参数或修改检查规则时，不用再修改原始代码，可以直接修改系统中的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113253985 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110591264.9
(22)申请日 2021.05.28
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
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