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一种鳍式场效晶体管包括具有鳍片在上的基材，其中鳍片的第一鳍片部分的高度低于第二鳍片部分的高度。鳍式场效晶体管结构还包括相邻鳍片的介电层，其中介电层围绕在第二鳍片部分的底部部分和第一鳍片部分的侧壁，且介电层的高度高于第一鳍片部分的高度。鳍式场效晶体管亦包括在介电层无覆盖到的第二鳍片部分上的栅极堆叠和生长在第一鳍片部分的顶表面上的磊晶堆叠，其中磊晶堆叠紧靠栅极堆叠并包括具有晶面的第一结晶磊晶层、在第一结晶层上的非结晶磊晶层、和在非结晶磊晶层上第二结晶磊晶层，其中第二结晶层实质上为无晶面。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113270496 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202011460733.5
(22)申请日 2020.12.11
(30)优先权数据
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