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本发明属于扫描电镜技术领域,具体涉及一种冷冻电镜样品智能化制备系统、方法、电子设备,旨在解决现有的冷冻电镜样品制备装置截面质量差、位置精度低的问题;系统包括总控中心、超低温液体池、用于对待加工样品限位的样品保持机构、用于切割/抛光样品的样品加工机构、位置调节机构以及用于转移加工完成样品的样品转移机构;在工作过程中,总控中心基于目标样品类型控制超低温液体池提供预设温度环境,基于样品保持机构在第一腔室中的位置信息启动位置调节机构以带动样品加工机构按照预设加工路线进行加工,基于转移至第二腔室中的加工完
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113252717 B
(45)授权公告日 2021.09.10
(21)申请号 202110658431.7 (56)对比文件
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