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本申请公开了一种MEMS加速度传感器芯片批量测试方法及系统，以解决测试MEMS加速度传感器芯片时耗费大量人力，测试工作量大的问题。系统包括：测试夹具，用于放置多个待测MEMS加速度传感器芯片；通道切换装置，与待测MEMS加速度传感器芯片连接，基于第一时钟信号切换各通道的连通，自动切换多个芯片的测试，并基于第二时钟信号，将待测MEMS加速度传感器芯片的第一极板或者第三极板分别与电容测试装置连通；电容测试装置，对待测MEMS加速度传感器芯片的第一极板和第二极板之间、以及第二极板和第三极板之间的电容值
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113253095 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110518285.8
(22)申请日 2021.05.12
(71)申请人 中国
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