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一种柔性湿度传感器及其制备方法.pdfVIP

一种柔性湿度传感器及其制备方法.pdf

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    本发明公开了一种基于疏水多孔聚四氟乙烯隔离和保护的柔性湿度传感器及其制备方法，传感器由下至上包括疏水多孔聚四氟乙烯衬底，金属电极层，疏水多孔聚四氟乙烯隔离层，氧化石墨烯敏感层及疏水多孔聚四氟乙烯材料保护层。本发明制备的湿度传感器由于在金属电极层和湿敏材料层之间有一层绝缘的疏水多孔聚四氟乙烯，可以有效的减小高湿度下器件的电容损耗，另外在最外层有一层疏水多孔聚四氟乙烯材料保护层，可以防水防污，具有良好的透气性，同时又不会影响器件的性能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113252741 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202110531444.8 (22)申请日 2021.05.17 (71)申请人 东南大学 地址 21

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