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本申请示出了一种多层自动对焦的方法及系统，本申请通过在多层自动对焦系统中增加半圆形光阑，使聚焦在探测器平面的光斑根据对焦位置的不同分布在探测器上下两侧，由此可以快速判断出物镜聚焦位置，本申请示出的一种多层自动对焦方法应用于多层自动对焦系统，本申请示出的多层自动对焦方法中，提出了一种与光斑强度和尺寸直径相关的评价函数，能够根据光斑精确判断移动方向、确定移动步长、判断对焦准确度。本申请示出的技术方案，能够对有多层平面深度的目标物体进行实时、快速、准确的对焦。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113267884 B
(45)授权公告日 2022.06.28
(21)申请号 202110567298.4 G02B 21/08 (2006.01)
(22)申请日 2021.05
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