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本发明涉及一种双谐振腔固体声敏传感器装置，包括双谐振腔固体声敏传感器，双谐振腔固体声敏传感器包括外谐振腔和内谐振腔，外谐振腔套设在内谐振腔的外侧，外谐振腔的侧壁上等距固定有多个侧顶针，侧顶针的头部与内谐振腔的侧壁外表面接触；内谐振腔内设有超低频振子和中高频振子；超低频振子包括第一压电陶瓷片及单个悬臂簧，第一压电陶瓷片通过悬臂簧单点悬空固定于内谐振腔内；中高频振子包括第二压电陶瓷片、顶针及若干振动传导簧，第二压电陶瓷片通过振动传导簧多点悬空固定于内谐振腔内，顶针的针头穿过内谐振腔顶于第二压电陶瓷片
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113271520 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110666061.1
(22)申请日 2021.06.16
(71)申请人 北京世纪之星应用技术研究中心
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