用于增强衬底制品及装置的性质及性能的涂层.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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本发明涉及用于增强衬底制品及装置的性质及性能的涂层。本发明描述适用于多种衬底制品、结构、材料及设备的涂层。在各种应用中，所述衬底包含金属表面，所述金属表面易于在其上形成此金属的氧化物、氮化物、氟化物或氯化物，其中所述金属表面经配置以在使用中与气体、固体或液体接触，所述气体、固体或液体与所述金属表面进行反应以形成对所述衬底制品、结构、材料或设备有害的反应产物。所述金属表面涂覆有保护涂层，所述保护涂层防止所述经涂覆表面与所述反应性气体进行反应及/或以其它方式改进所述衬底制品或设备的电性质、化学性质、

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113930746 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111192285.X (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限

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