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本发明提出一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用，包括：衬底；第一反射层，设置在所述衬底上；有源层，设置在所述第一反射层上，用于发射激光束；第二反射层，设置在所述有源层上；其中，所述第二反射层中至少包括一光学散射层，所述激光束经过所述光学散射层形成远场光斑，所述光学散射层将边缘的所述激光束散射至所述远场光斑的中心区域内；其中，所述光学散射层上包括光学散射粒子，所述光学散射粒子包括起伏的界面；其中，所述光学散射层的粗糙度大于所述第一反射层的粗糙度。本发明提出的垂直腔面发射激光器可以获得能量分布均
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113258443 B
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202110798123.4 (56)对比文件
(22)申请日 2021.07.15
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