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本发明涉及微电子技术领域，尤其涉及一种铁电薄膜电容器及其制备方法。本发明公开了一种铁电薄膜电容器，该铁电薄膜电容器中使用无铅、对环境友好的铁酸铋(BFO)掺杂的钛酸铋钠‑钛酸钡(NBT‑BT)薄膜，有利于后续电子器件的回收与再利用；该薄膜材料的使用使铁电薄膜电容器获得高的放电能量密度与储能效率，其储能性能表现出高温稳定性，通过充放电特性表明薄膜电容器具有更快的微秒放电和较大的介电强度，有望成为一种环保型无铅材料，可用于储能电容器的应用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113270271 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110615418.3
(22)申请日 2021.06.02
(71)申请人 广东工业大学
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