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光谱滤波器以及包括光谱滤波器的图像传感器和电子设备.pdfVIP

光谱滤波器以及包括光谱滤波器的图像传感器和电子设备.pdf

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    提供了一种光谱滤波器、制造所述光谱滤波器的方法以及均包括所述光谱滤波器的图像传感器和电子设备。所述光谱滤波器包括：多个第一反射层，彼此间隔开设置；以及多个腔，设置在所述多个第一反射层之间。所述腔根据中心波长具有不同的厚度。所述腔中的每一个包括：多个蚀刻停止层，具有根据中心波长的恒定总厚度；以及至少一个介电层，具有根据中心波长而改变的总厚度，其中，所述蚀刻停止层包括具有与所述介电层的蚀刻选择性不同的蚀刻选择性的材料。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113960710 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202110803723.5 (22)申请日 2021.07.15 (30)优先权数据

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