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本发明涉及到一种水晶振动子工业制造方法，包括步骤1至步骤7，晶片在进行镀层前，需进行步骤1中的清洗，通常采用H2SO4+K2CrO7、HCl+Su、丙酮、污水乙醇、去离子水等在超声波清洗机内进行常温或加温清洗，洗净的晶片在红外线干燥箱内干燥；步骤2，将清洗后的晶片放置在镀膜机内双面蒸镀金层形成辅层，但因为金层不同直接蒸镀在晶片表面，因此先在其表面蒸镀一层铬层，两层的总厚度为最佳；步骤3到步骤6，先利用光刻进行定点腐蚀刻蚀，再利用化学溶液腐蚀进行二次加工，这样设置的好处在于，化学溶液为液体，流动性
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113258897 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110630673.5
(22)申请日 2021.06.07
(71)申请人 九州电通（江苏）有限公司
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