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一种β-环糊精高分辨率光刻胶成膜树脂的制备方法.pdfVIP

一种β-环糊精高分辨率光刻胶成膜树脂的制备方法.pdf

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    本发明公开了一种β‑环糊精高分辨率光刻胶成膜树脂的制备方法。采用方法的要点是通过控制β‑环糊精、二碳酸二叔丁酯和4‑二甲氨基吡啶的投料比，在一定反应温度和时间下对β‑环糊精进行改性，在其羟基上接枝保护基团，制备高分辨率光刻胶成膜树脂。本发明的技术方案为制备高分辨率光刻胶成膜树脂提供了一条新路径，有助于我国加快突破国外相关技术封锁，对光刻胶和芯片制造业具有重要的现实意义。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113248635 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202110640706.4 (22)申请日 2021.06.09 (71)申请人 浙江理工大学 地址

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