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本发明公开了一种耐折弯的热电薄膜及其制备方法，属于热电材料技术领域。该方法包括以下步骤：S11，2,2’‑双三氟甲基‑4,4’‑联苯二胺在溶剂中，与六氟二酐、3,3,4,4‑联苯四甲酸二酐反应，再与乙酸酐、三乙胺反应；S12，沉淀，离心，干燥，得到聚酰亚胺；S13，所述聚酰亚胺溶解于溶剂中，真空脱泡，玻璃板流延，加热除溶剂，剥离，得到薄膜；S14，薄膜进行预处理；S15，溅射N型Bi2Te3。本发明的耐折弯的热电薄膜的制备方法，以聚酰亚胺薄膜为基底，采用磁控溅射法来溅射N型Bi2Te3，得到
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113248767 B
(45)授权公告日 2022.01.18
(21)申请号 202110509666.X C23C 14/02 (2006.01)
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