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本发明涉及芯片封装技术领域,提供一种封装装置及其封装方法,封装装置包括:上热压单元、下热压单元、基座,上热压单元、下热压单元之间形成芯片热压固化区域,封装装置还包括至少一个固定设置在基座上的导轨、与导轨数量相匹配的导轨滑块,导轨滑块滑动地连接在导轨上,上热压单元、下热压单元分别与各自对应的导轨滑块固定连接,沿导轨上下滑动。通过本发明提供的封装装置及其封装方法,在芯片生产过程中能够保证热压的平行度,提高固化精度,可以满足多型号芯片的生产制造需求。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113257719 B
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202110658194.4 H01L 21/50 (2006.01)
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