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本发明属于精密制造设备技术领域,特指一种集成力传感器的加工设备及超精密切削对刀方法,加工设备包括主轴、刀具、三轴驱动装置、位置传输装置以及对刀控制系统,其中,对刀控制系统包括力传感器和PID控制器,力传感器设置在刀具上,用于检测刀具与工件之间的接触力;PID控制器根据接触力的大小,控制Z向驱动机构工作。本发明通过对刀控制系统实现接触力/切削力闭环反馈控制功能以及扫描测量功能,并基于上述功能研发了一种超精密切削对刀方法,使其可以实现超精密对刀,无需借助其他仪器,可满足加工范围空间受限,难以安装其他
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113245625 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110516422.4
(22)申请日 2021.05.12
(71)申请人 浙江大学
地址 31
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