面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法.pdf

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本发明提供一种面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法，包括：设置于衬底上的聚合物绝缘层，用于隔离衬底和上电极层；设置于衬底上的压电敏感层，压电敏感层包括呈阵列式排布的若干压电敏感单元，若干压电敏感单元相互分离，用于采集叶尖间隙高频气体脉冲压力信号，并将采集的信号的变化转换为电压或电荷的变化；设置于聚合物绝缘层上的上电极层，且上电极层的电极点的下表面分别与压电敏感单元的上表面相贴；上电极层用于与外部电荷放大电路或测试电路导通，以实时监测传感器的电压或电荷变化；设置于上电极层上方用于密封和

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113267289 B (45)授权公告日 2022.08.16 (21)申请号 202110408510.2 审查员崔丽娟 (22)申请日 2021.04.16

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