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本发明涉及等离子体刻蚀领域，具体是一种研磨工艺造成热障涂层表面残余应力的表征方法，包括：选取步骤，选取两个表面皆平整的热障涂层材料；表面预处理步骤，研磨和抛光处理所述热障涂层材料的其中一个表面；应力释放步骤，对抛光处理后的所述表面进行离子刻蚀；导电性提高处理步骤，对经过离子刻蚀的所述表面镀碳处理；表征准备步骤，将所述热障涂层材料放置在样品托上，并将镀碳处理后的表面导接至所述样品托的表面；表征步骤，表征所述热障涂层材料的表面信息。本发明利用离子刻蚀将热障涂层材料的表面的一层应力层去除，进而使得表面
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113252718 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110535636.6 G01N 23/20008 (2018.01)
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