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2023-06-17 发布于四川
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本公开提供一种故障检测与分类方法、装置、系统及存储介质，该方法包括：通过传感器感测工艺参数的原始数据；根据预定时间段切分所述原始数据；应用频域算法和/或统计概率分布的算法对切分后的数据进行特征提取，得到与产品的至少一个特性具有相关性的特征数据；以及基于所述特征数据对用于所述产品的工艺进行故障检测与分类。本公开通过采用频域算法和/或统计概率分布的算法作为特征提取的算法，可以从频域和概率分布的角度去寻找传感器原始感测数据间的差异特征，在实际应用中可以提取到用常规统计算法无法提取到的特征信息，有效提高

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113255840 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202110732706.7 (22)申请日 2021.06.30 (71)申请人长江存储科技有限责任公司

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