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本发明涉及还原生产技术领域,尤其涉及一种还原炉装置。包括加热单元内套设还原单元,冷凝单元与还原单元相连,冷凝单元位于加热单元下方;加热单元包括加热腔,加热腔分为可拆卸连接的第一加热段和第二加热段,还原单元包括还原腔,还原腔内设置开孔挡板,三氯化磷进料口与氢气进气口交叉开设于还原腔的端部,气化段与还原段相邻设置在还原腔内,还原段内用石英材料填充。冷凝单元包括冷凝器,冷凝器周面固定联通有U型分流管,U型分流管内部具有用于冷凝作业的3进2出结构,本发明加热单元设置为上下分离式,实现温度分区控制、便捷出
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113247874 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110748632.6
(22)申请日 2021.07.02
(71)申请人 楚雄川至电子材料有限公司
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