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本发明公开了一种基于微型力矩器的石英挠性加速度计及其制造方法，该加速度计包括石英挠性摆片，所述石英挠性摆片的上下侧均依次放置有永磁薄膜、电容极板和硅基线圈，从而使得所述石英挠性加速度计形成为以石英挠性摆片为对称中心、上下两侧对称的推挽式结构，整个加速度计呈扁平形状。该制造方法包括以下步骤：S1.微纳加工制备石英挠性摆片；S2.制备多极充磁的永磁薄膜；S3.微纳加工制备电容极板；S4.微纳加工制备硅基线圈；S5.集成石英挠性摆片、永磁薄膜、电容极板和硅基线圈从而形成加速度计。本发明能够缓解现有石英
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113252944 B
(45)授权公告日 2021.09.17
(21)申请号 202110792227.4 审查员 付友昱
(22)申请日 2021.07.14
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