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2023-06-17 发布于四川
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提供了用于使用目标设计图案来进行管芯内量测的系统和方法。这些系统和方法包括：基于表示集成电路的设计的设计数据来选择目标设计图案；提供指示目标设计图案的设计数据，以使能够将从目标设计图案导出的设计数据添加到第二设计数据，其中第二设计数据基于第一设计数据。系统和方法还可以包括：使从第二设计数据导出的结构被印刷在晶片上；使用带电粒子束工具来检查晶片上的结构；以及基于检查来标识量测数据或过程缺陷。在一些实施例中，系统和方法还包括：基于经标识的量测数据或过程缺陷来调整带电粒子束工具、第二设计数据、扫描仪或

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113272736 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 201980087239.8 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

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