用于渗透和快速气相沉积多孔组件的方法和装配件.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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本发明的目的是一种用于致密化至少一个多孔组件(1)的CVI(化学气相渗透)方法，该方法包括至少以下步骤：‑将至少一个多孔组件(1)置于坩埚(3)内部；‑使坩埚(3)内部的温度(Ti)达到适于致密化多孔组件(1)的值，以将多孔组件(1)转变成致密化组件(2)；‑使坩埚(2)内部的压力(Pi)在0.1Kpa至25Kpa之间；‑一旦达到操作温度和压力，使反应气体(4)在坩埚内部流动；‑将反应气体或气体(4)供给至坩埚(3)中，气体(4)适于致密化多孔组件(1)以将多孔组件(1)转变成致密化组件(2)；

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113272470 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 201980087464.1 (74)专利代理机构北京中博世达专利商标代理

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