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本发明公开了一种单晶硅棒切割面角度检测装置，包括机架，机架顶部一侧固定安装有直线导轨，直线导轨内部固定安装有丝杠，丝杠套设有滑块，滑块的顶部固定安装有移动夹具，机架顶部在远离移动夹具的一侧固定安装有固定夹具，机架顶部在靠近固定夹具的一侧固定安装有角度测量仪，机架内部一侧固定安装有电机，机架内部在靠近电机顶部一侧固定安装有转轴，电机的输出轴套设有主动齿轮，转轴套设有传动齿轮，丝杠在远离滑块的一侧套设有从动齿轮。该种单晶硅棒切割面角度检测装置，结构简单合理，操作方便，有效解决了现有多数角度测量装置缺
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113263642 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202011045341.2
(22)申请日 2020.09.28
(71)申请人 晶海洋半导体材料（东海）有限公司
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