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2023-06-17 发布于四川
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一种用于管内法制棒设备的压力调节装置及方法.pdf

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本发明公开了一种用于管内法制棒设备的压力调节装置及方法，包括与石英衬管尾部排气旋转密封装置相连的过渡管、与过渡管相连的排气管、用于输送补偿气体的压力补偿气管、气体质量流量计以及压力计，所述压力补偿气管伸入到过渡管内腔，气体出口朝向石英衬管的尾端，所述过渡管上安装的压力计检测到的压力，作为反馈信号传送到主控制器，主控制器通过PID算法，调节气体质量控制器的设定值，控制补偿气体的流量，从而达到压力的调节。本发明通过可调节的、精细控制的补偿气体流量与大致稳定的排气负压，使得石英衬管内的相对压力达到±1

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113248134 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202110617205.4 (22)申请日 2021.06.03 (71)申请人武汉光盛通光电科技有限公司

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