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PE-CVD设备及方法.pdfVIP

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    本申请的实施例涉及一种PE‑CVD设备和方法。根据本发明，提供一种电容耦合的等离子体增强化学气相沉积PE‑CVD设备，其包括：腔室；第一电极，其包括位于所述腔室中的衬底支架；第二电极，其包括位于所述腔室中的进气口结构，所述进气口结构包括边缘区域、相对于所述边缘区域向下悬垂的中心区域，及用于将PE‑CVD前驱气体混合物引入到所述腔室的一或多个前驱气体入口，所述边缘区域及所述中心区域两者构成所述第二电极的一部分，其中所述前驱气体入口安置于所述边缘区域中，且所述中心区域与所述衬底支架间隔开以限定等离子

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113308683 A (43)申请公布日 2021.08.27 (21)申请号 202110017476.6 (22)申请日 2021.01.07 (30)优先权数据 2001781.0

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