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为了提供能以高的精度检测剩余膜厚、蚀刻量的波长选择方法或等离子处理方法,在真空容器内部的处理室内配置处理对象的晶片,使用对所述处理室内供给处理用的气体而生成的等离子,对预先形成于所述晶片的表面的处理对象的膜层进行处理,在这样的等离子处理方法中,基于检测在所述处理对象的膜层的处理中产生的等离子的多个波长的发光当中从互信息量大的多个波长的发光中选择出的至少2个波长的所述发光的时间变化而得到的结果,来判定所述膜层的处理的终点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113302722 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 201980016061.8 (51)Int.Cl.
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