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本发明适用于物镜系统装配领域,公开了一种物镜系统元件位置偏差精密装调方法,物镜系统包括主框架、组件框架、元件和若干个联接机构,每个所述联接机构均包括螺钉、球垫片和圆柱垫片,该方法根据物镜系统装调试测量得到的元件实际位置与理论位置在6个自由度上的偏差,计算出每个自由度上需要运动的位移,通过矩阵运算可以精确计算出每个圆柱垫片需要调整的厚度,再根据每个圆柱垫片实际厚度数据,可以得到能够使元件位置修正到理论位置附近的圆柱垫片的厚度。使用修正后的圆柱垫片进行装配即可将元件位置调整到理论位置附近,通常情况下
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113296287 B
(45)授权公告日 2022.07.22
(21)申请号 202110527883.1 审查员 孙钦青
(22)申请日 2021.05.14
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