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本发明公开一种实现选择性抽气与再生的双级低温泵,涉及低温真空技术领域,本发明包括一级泵体、二级泵体和推动单元,一级泵体与二级泵体连通,推动单元包括一级推动单元和二级推动单元。本发明还提供采用上述低温泵的吸附再生方法。本发明的有益效果在于:一级泵体和二级泵体分别为独立空间,能够实现不同级之间的选择性吸气和独立再生,避免了传统整体式再生带来的升温、降温慢的缺点,为实现聚变堆低温泵的快速再生提供了有力支撑。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113294315 B
(45)授权公告日 2022.08.12
(21)申请号 202110672802.7 (56)对比文件
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