- 1、本文档共25页,其中可免费阅读24页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种微机电系统(MEMS)包括:电路衬底,包括电子电路;支撑衬底,具有凹槽;接合层,设置在电路衬底和支撑衬底之间;通孔,穿过电路衬底到达开口;第一导电层,设置在电路衬底的前侧;第二导电层,设置在凹槽的内壁上;以及第三导电层,设置在每个通孔的内壁上。根据本申请的其他实施例,还提供了制造微机电系统的方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113307222 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202110216701.9
(22)申请日 2021.02.26
(30)优先权数据
您可能关注的文档
- 显示面板.pdf
- 摄像设备.pdf
- 使用控制器的系统重置.pdf
- 一种收纳充电无线美牙仪.pdf
- 评估软件对工业自动化和控制系统的影响的系统和方法.pdf
- 用于执行虚拟化的网络功能的方法及装置.pdf
- 用于呼叫分类的系统和方法.pdf
- 多部件夹具.pdf
- 燃料电池的电解质膜-电极结构体的劣化检测方法.pdf
- 氨基甲酸酯和石墨烯内部饰板.pdf
- 中国国家标准 GB/T 22517.2-2024体育场地使用要求及检验方法 第2部分:游泳场地.pdf
- GB/T 22517.2-2024体育场地使用要求及检验方法 第2部分:游泳场地.pdf
- 《GB/T 22517.2-2024体育场地使用要求及检验方法 第2部分:游泳场地》.pdf
- 苏教版(2017秋)科学三年级下册1.《种子发芽了》 教案(含课堂练习和反思).docx
- 2024-2025学年小学数学六年级上册冀教版(2024)教学设计合集.docx
- 地理商务星球版七年级上册4.5形成气候的主要因素 同步教案.docx
- 2024-2025学年中职中职专业课金融类73 财经商贸大类教学设计合集.docx
- 2024-2025学年初中地理七年级上册(2024)仁爱科普版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学英语二年级上册外研版(一起)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年高中数学选择性必修 第二册北师大版(2019)教学设计合集.docx
文档评论(0)