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本发明提供了一种基于光电探测器阵列的位移传感器及其测量方法,该位移传感器包括:反射镜一,用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束,且使其沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面;光偏转器一,用于使接收到的激光束的入射角度在设定角度区间内偏转;光电探测器一阵列,包括多个光电探测器一,多个光电探测器一之间间隔设置,光电探测器一用于接收经光偏转器一偏转后的激光束;处理系统,用于根据光电探测器一接收到激光束的时间、光电探测器一与光偏转器一的垂直距离、光电探测器一之间的间距、及光偏转器一的偏
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113280739 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110778798.2
(22)申请日 2021.07.09
(71)申请人 北方民族大学
地址
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