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提供等离子体处理装置的部件的制造方法以及部件的检查方法,使处理的成品率提升。部件配置于等离子体处理装置的处理室内部,在表面具备具有对等离子体的耐性的材料的被膜,方法具备如下工序:沿着部件的表面使枪移动给定距离并喷溅该材料来形成被膜,并在枪所移动的距离的范围内配置具备具有模拟部件的表面形状的形状的表面的试验片,在该试验片的表面形成所述材料的被膜;和基于检测该试验片的表面的所述被膜的结晶的大小、残留应力或有无含有污染元素的结果来调节所述枪形成所述部件的表面的被膜的条件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113302721 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 201980015284.2 (51)Int.Cl.
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